微流控芯片PDMS微流控芯片加工系統(tǒng) EasyPDMS

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微流控芯片PDMS微流控芯片加工系統(tǒng) EasyPDMS

圖片

簡介

PDMS芯片制作方便、成本低、生物相容性好，是前期驗證微流控實驗的絕佳芯片解決方案.此芯片加工系統(tǒng)支持定制。我們提供PDMS芯片加工實驗室設(shè)計與搭建的一站式服務，從潔凈間設(shè)計到實驗室布局，再到設(shè)備選擇，以及您采購后的安裝調(diào)試及培訓，您只需要提出需求，我們可以做到交鑰匙工程。當然，系統(tǒng)里的每個模塊也支持單獨售賣，您可以根據(jù)自己需求挑選設(shè)備。

功能圖解

PDMS芯片制作工藝一般包含以下步驟：① 清洗；② 勻膠；③ 曝光光刻；④ 顯影；⑤ 烤膠；⑥ PDMS成型；⑦ 等離子表面活化處理；⑧ 鍵合；⑨ 打孔。EasyPDMS芯片加工系統(tǒng)可以順利完成以上所有流程。

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應用系統(tǒng)

PDMS芯片制作

規(guī)格參數(shù)

項目	參數(shù)
適用芯片	PDMS芯片制作
最小結(jié)構(gòu)分辨率	2um
處理基板尺寸	4”（φ10cm）

工藝及設(shè)備對應表格：

工藝名稱	設(shè)備儀器名稱	型號
清洗	等離子清洗機	CUTE
	超聲清洗機	市售標準型號
勻膠	勻膠顯影機	SC100
	PDMS成型機	ZentriForm
曝光光刻(2選1）	曝光機	UV-KUB 2
		UV-KUB 3
顯影(2選1）	勻膠顯影機	SC100
	簡易顯影池	客戶自備
烤膠	精密熱板	HP100
PDMS成型(2選1）	PDMS成型機	ZentriForm
	培養(yǎng)皿/熱板	客戶自備培養(yǎng)皿/HP100
表面活化處理	等離子清洗機	CUTE
鍵合	精密熱板	HP100
打孔	打孔器	PDMS Port Creator
	打孔針	市售標準型號